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爱德华罗茨泵维修厂家

简要描述:EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。


应用
半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞

  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-05-21
  • 浏览次数:1242

详细介绍

EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。
英国爱德华EH1200罗茨泵 增压泵

应用
半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2激光

功能和优势
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降低。
轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

技术数据


EH250EH500EH1200EH2600EH4200
排量(工作容积)310 m3h-1/ 185 ft3min-1505 m3h-1/ 300 ft3min-11195 m3h-1/ 715 ft3min-12590 m3h-1/ 1525 ft3min-14140 m3h-1/ 2440 ft3min-1
使用前级泵时的有效抽速240 m3h-1/ 141 ft3min-1350 m3h-1/ 206 ft3min-1840 m3h-1/ 495 ft3min-11750 m3h-1/ 1031 ft3min-13100 m3h-1/ 1825 ft3min-1
泵的压力差0-180 mbar/0-140 Torr0-110 mbar/0-83 Torr0-90 mbar/0-68 Torr0-80 mbar/0-60 Torr0-60 mbar / 0-45 Torr
进气口连接ISO63ISO100ISO160ISO160ISO250
出口连接ISO40ISO63ISO100ISO100ISO100
转速0-2900 rpm0-2900 rpm0-2900 rpm0-2900 rpm0-2900 rpm
连续进气口工作压力0-1000 mbar/0-760 Torr0-1000 mbar/0-760 Torr0-1000 mbar/0-760 Torr0-1000 mbar/0-760 Torr0-1000 mbar/0-760 Torr
最大出口压力1000 mbar/760 Torr1000 mbar/760 Torr1000 mbar/760 Torr1000 mbar/760 Torr1000 mbar/760 Torr
推荐的前级泵GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80GV80、E2M80GV160、GV250、E2M80、E2M175GV250、GV400、E2M175、E2M275GV400、E2M275
电机功率




碳氢化合物2.2 kW / 3 hp2.2 kW/3 hp3 kW/4 hp11 kW/15 hp11 kW/15 hp
PFPE1.5 kW / 2 hp1.5 kW/2 hp3 kW/4 hp7.5 kW/10 hp11 kW/15 hp
ATEX2.2 kW2.2 kW3 kW11 kW11 kW
防爆3 hp3 hp4 hp15 hp15 hp
环境温度范围




工作5 至 40°C/40 至 104°F5 至 40°C/40 至 104°F5 至 40°C/40 至 104°F5 至 40°C/40 至 104°F5 至 40°C/40 至 104°F
存储-10 至 80°C/14 至 176°F-10 至 80°C/14 至 176°F-10 至 80°C/14 至 176°F-10 至 80°C/14 至 176°F-10 至 80°C/14 至 176°F
最大工作湿度90% RH90% RH90% RH90% RH90% RH
推荐用油Ultragrade 20Ultragrade 20Ultragrade 20Ultragrade 20Ultragrade 20
油容量




齿轮箱

1.25 l/1.3 qt3.5 l/3.3 qt3.5 l/3.3 qt
联轴器盖1.5 l/1.6 qt1.5 l/1.6 qt1.5 l/1.6 qt6.5 l/7 qt6.5 l/7 qt
轴封储油器0.125 l/0.25 qt0.125 l/0.25 qt0.125 l/0.25 qt1.5 l/1.4 qt1.5 l/1.4 qt
重量61 kg/134 lb74 kg/163 lb74 kg/163 lb308 kg/679 lb



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